- Size : 60Flange ~ 130Flange
- 용량 : 100[W] ~ 3[kW]
- 정격 Torque : 0.32[N·m] ~ 9.55[N·m]
- 정격속도 : 3000 & 5000[rpm]
- Encoder : Incremental type
- Spinner Motor : 8”, 12”
- 적용장비 : 반도체장비