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- Size : Ø135 ~ Ø360- 용량 : 63[W] ~ 2.51[kW]- 정격 Torque : 3[N·m] ~ 160[N·m] - 정격속도 : 100[rpm] ~ 300[rpm]- Encoder : Serial 20bit- 특징 : 저속 고토크 특성- 적용장비 : 반도체장비, 스테이지 등